삼성전자가 30여년에 걸쳐 개발한 국가핵심기술을 도용해 제작한 반도체 세정장비를 중국기업에 수출하려고 한 일당이 검찰에 적발됐다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(박경택 부장검사)는 산업기술보호법과 부정경쟁방지법(영업비밀국외누설) 위반 혐의로 삼성전자 엔지니어 출신의 A회사 B 대표(55)와 설계팀장 C씨(43) 등 2명을 구속기소 했다고 19일 밝혔다. 또 A사 직원 등 9명과 법인 3곳은 불구속기소 했다.

B씨 등은 2021년 10월부터 지난해 4월까지 삼성전자 자회사인 D사 출신 퇴사자로부터 세정장비 챔버부(세정장비 내에 구성된 세정작업이 실제로 진행되는 부분) 도면을 구한 다음 그 도면을 기초로 새로운 수출용 세정장비 챔버부를 제작한 혐의를 받고 있다. B씨 등은 또 D사의 세정장비 이송로봇 도면을 도용해 새로운 수출용 로봇을 설계, 제작한 혐의도 받고 있다.

반도체 세정기술은 반도체 제조 과정에서 발생하는 머리카락의 1만분의 1 굵기의 이물질을 반도체 훼손 없이 완벽하고 정밀하게 제거하는 초고난도 기술이다.

삼성전자와 자회사인 D사는 30여년에 걸쳐 막대한 자본과 인력을 들여 세계 최고 수준의 세정기술을 완성했다. B씨 등이 유출·부정 사용한 반도체 세정공정 관련 자료는 산업부로부터 ‘국가핵심기술’로, 세정장비 설계도면은 산업부에서 ‘첨단기술’로 지정됐다.

검찰은 만약 이 기술이 유출됐다면 국내 반도체 업계에 수조원 대의 피해는 물론, 국내 반도체 산업에 회복 불가능한 손해가 발생했을 것이라고 설명했다.

조사 결과, 삼성전자에 근무 경력이 있는 B씨는 2018년 삼성전자와 자회사인 D사에 근무한 엔지니어들을 차례로 영입해 세정장비 관련 사업을 목적으로 한 업체를 설립한 뒤, 중국 반도체 장비업체의 직접 투자를 받기로 하고 자신이 설립한 업체의 인력과 기술을 중국업체 국내 법인에 78억2000만원을 받고 양도한 것으로 파악됐다.

영입된 엔지니어들은 B씨의 지시에 따라 각자 근무하던 업체에서 퇴사할 때 불법 유출한 자료나 국내 반도체 업계에 종사한 지인들로부터 받은 자료 등을 수집한 것으로 조사됐다.

B씨는 이런 불법 수집한 기술자료로 세정장비를 개발해 시제품 2대 중 1대를 중국에 수출하고, 2대의 양산장비 제작 중 검찰 수사로 중단됐다.

검찰에 적발된 B씨 등은 세정장비를 자체 개발했다고 부인했지만, 기술자료에 남겨진 ‘디지털 지문’이 확인되면서 기술이 도용된 사실이 드러났다.

검찰 관계자는 “B씨 등은 범행을 숨기기 위해 가명을 사용하고, 회사를 간판도 없이 운영했다”며 “각종 기술자료를 베끼고 난 뒤에는 삭제하고, 동종업계 종사자들이 신고하려 한다는 소문을 듣자 휴대전화를 단체로 교체하기도 했다”고 말했다.

검찰은 A사가 제작한 시제품 1대와 제작 중인 양산장비 2대를 압수, 국내 기술을 도용한 세정장비가 중국에서 유통되지 못하도록 차단했다. 또한 A사가 중국 본사로부터 수령한 개발자금 100억원 정도를 범죄수익으로 압류해 환수 조치했다.