중국이 대만 침공해 TSMC 점령해도 반도체 못 삼킨다, 왜?

김상범 기자

ASML “‘킬 스위치’ 발동, 원격 무력화 가능”

‘반중’ 라이칭더 총통 취임 후 긴장 고조되자

네덜란드·미국 정부에 원격 차단 기능 설명

ASML의 EUV 노광장비 가동 모습. ASML 제공

ASML의 EUV 노광장비 가동 모습. ASML 제공

세계 최대 반도체 장비 제조사인 ASML이 해외에 설치된 자사의 장비를 원격으로 강제 종료할 수 있는 것으로 확인됐다. 중국이 대만을 침공해 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 TSMC를 점령하더라도, 최첨단 반도체 설비는 손에 넣을 수 없도록 일종의 ‘킬 스위치(기기를 비활성화하는 장치)’를 발동할 수 있다는 설명이다.

21일(현지시간) 블룸버그통신은 소식통의 말을 인용해 ASML이 반도체 장비를 원격으로 비활성화하는 기능에 대해 네덜란드와 미국 정부에 설명했다고 보도했다. ASML은 실제로 군사적 침략이 발생했을 시 장비를 비활성화하는 과정을 시뮬레이션해 보인 것으로 전해졌다.

대만은 세계 최대 파운드리 TSMC가 소재한 반도체 국가다. 반중 성향의 라이칭더 신임 총통이 지난 20일 취임하면서 중국·대만 간 긴장이 다시금 깊어지고 있는 상황이다. 앞서 미국 정부는 네덜란드·대만 정부 측에 중국이 대만을 침공해 반도체 기술·장비를 가로챌 가능성에 대한 우려를 표한 것으로 알려졌다.

ASML은 미 정부를 안심시키기 위해 이 같은 원격 차단 기능을 설명한 것으로 전해졌다. 이는 극자외선(EUV) 노광장비 라인에 적용되는 방식이다. 시내버스 정도의 크기인 EUV는 정기적인 정비와 소프트웨어 업데이트가 필요하다. ASML은 이를 통해 킬 스위치를 발동할 수 있다고 밝혔다.

ASML은 반도체 노광장비를 만드는 네덜란드 회사다. 웨이퍼에 회로 패턴을 새기는 노광 공정에 쓰인다. EUV 노광장비는 3나노미터 이하 초미세공정을 구현할 수 있는 가장 최첨단 설비다. TSMC는 한 대당 약 4000억~5000억원에 달하는 EUV 장비를 200대 이상 보유하고 있다. 전 세계에서 가장 많은 숫자다.

미국은 중국의 ‘반도체 굴기’를 꺾기 위해 최신 반도체 기술·장비가 중국으로 흘러드는 것을 철저히 막아왔다. 2019년 ASML의 EUV 장비 중국 반입을 엄격히 금지한 데 이어 지난 1월에는 구형 장비인 심자외선(DUV) 장비까지 수출을 통제했다.

TSMC의 류더인 회장은 지난해 CNN과의 인터뷰에서 “중국이 대만을 침략하면 TSMC 공장의 칩 제조설비가 고장난 것을 발견할 것”이라며 “누구도 강제로 통제할 수 없다”고 말한 바 있다.


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